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M-2000
J.A. Woollam
A linha M-2000® de elipsômetros espectroscópicos foi projetada para atender às demandas diversas da caracterização de filmes finos. Um design óptico avançado, ampla faixa espectral e aquisição rápida de dados se combinam em uma ferramenta extremamente poderosa e versátil. O M-2000 entrega tanto velocidade quanto precisão. Nossa tecnologia patenteada RCE combina Elipsometria de Compensador Giratório com detecção CCD de alta velocidade para coletar todo o espectro (centenas de comprimentos de onda) em uma fração de segundo com uma série de configurações. O M-2000 é o primeiro elipsômetro que realmente se destaca em tudo, desde monitoramento in situ e controle de processos até mapeamento de uniformidade em grandes áreas e caracterização geral de filmes finos. Nenhuma outra tecnologia de elipsômetro adquire um espectro completo mais rapidamente.
Especificações
Aplicações
Revestimentos Ópticos: Caracterize tanto a espessura quanto o índice refrativo para revestimentos mono- e multi- camadas, revestimentos anti-reflexão, de alta reflexão, ou decorativos. Calcule as coordenadas de cor para sua pilha de revestimentos sob diferentes condições de iluminação.
Química/Biologia: O M-2000 pode ser usado para uma gama de aplicações químicas e biológicas, tanto como uma ferramenta independente ou em conjunto com algum de nossos muitos acessórios. Estude materiais sob ambiente líquido, em temperaturas altas ou baixas, ou em conjunto com medições QCM-D.
Condutores Orgânicos: Houve grande progresso na área de camadas e pilhas orgânicas usadas para exibição (OLED) ou aplicações fotovoltaicas. Há muitos materiais diferentes sendo estudados, desde pequenas moléculas, como Alq3 até polímeros conjugados, como P3HT. Frequentemente, misturam-se vários materiais – o que requer a ampla faixa espectral do M-2000 – para sondar comprimentos de onda diferentes, em que a orgânica é opticamente diferente. Moléculas de cadeia longa também podem ter anisotropia significativa, em que empilhamento orientado das cadeias de polímeros produz constantes ópticas diferentes sob diferentes condições.
Semicondutores: Aplicações de elipsometria tradicionais ainda continuam relevantes. Caracterize qualquer material semicondutor: resists, fotomáscaras, SiON, pilhas ONO, dielétricos de k baixo, portas de k alto, SOI, SiGe, compostos ternários e quaternários II-VI e III-V.
Fotovoltaica: A espessura de filmes e propriedades ópticas são cruciais para a performance de dispositivos solares. Usa-se elipsometria para desenvolvimento e monitoramento de todos os materiais FV: a-Si, µc-Si, poly-Si, Revestimentos AR (SiNx, AlNx,...) Filmes TCO (ITO, ZnOx, SnO2 dopado, AZO), CdS, CdTe, CIGS, materiais FV orgânicos e filmes sensibilizados com corantes.
In Situ: O M-2000 é ideal para monitoramento in situ e controle de processos. Ele é usado adequadamente com diversos processos diferentes para fornecer resultados em tempo real.
Opções
Óptica de Focagem
Modelo (em Base Fixa ou de Ângulo Automático)
V, VI 220µm de diâmetro de feixe.
U, UI, D, DI 300µm de diâmetro de feixe.
X, XI 120µm de diâmetro de feixe.
Câmera
Adicione uma câmera aos sistemas M-2000 com opção de ponto focal para visualizar a área de medição. O feixe em si pode não ser visível em superfícies suaves, mas se pode identificar a localização com base na localização de referência. A opção da câmera inclui uma câmera CCD de 3 Mpixel, um conjunto de lentes e um setup de iluminação.
- Magnificação 3x
- Campo de visão: 2.1 x 1.6 mm
- Distância operacional: 77mm
- Zoom digital: até 8x
Alinhamento de Amostra Automatizado
Alinhamento de amostra completamente automatizado (ajuste de inclinação e de altura z).
